LJ-XJ80型坩堝下降法單晶爐

2011-05-05

一、LJ-XJ80型單晶爐主要技術指標:

 

    商品簡介:LJ-XJ80型單晶爐使用直流電阻加熱方式,采用坩堝下降法工藝生長氟化物單晶材料,全程運行在高真空狀態下,可手動、自動功率控制、溫度控制,傳動機構承載大、運行精度高。

 

主要技術指標

 1.電阻加熱電源:          100KVA 

 2.冷爐極限真空度:       3×10-3Pa

 3.爐體尺寸:             ¢800x1500mm

 4. 爐體升降高度:         1600mm

 5.坩堝桿下降慢速:        0.1~10mm/h  

 6.坩堝桿升降快速:        電動+手動

 7.坩堝桿爐內行程:        ~450mm

 8.電極支承中心距:         400mm

 9.冷卻水壓:               0.15~0.3MPa 5T/h

10. 主機外型尺寸:          2000×1800×4300

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