泡生法晶體生長設備

2011-07-09

    我公司泡生法晶體爐(含工藝)已安裝調試完成,拉晶試驗取得圓滿成功,現已批量銷售,歡迎廣大新老客戶前來考察選購。

LJ-B72型單晶爐(泡生法晶體爐)主要參數指標

一、簡介

LJ-B72型單晶爐,是用泡生法工藝生長高品質藍寶石單晶材料的設備。主要包括控制系統、真空系統、加熱體、冷卻系統和熱防護系統等,可在真空或充入惰性氣體,在可控的局部壓力狀態下運行。

本設備采用鎢電阻直流加熱電源、電源輸出精度高,采用歐陸微處理器與工業控制計算機閉環控制爐溫,使結晶體按著一定的直徑進行控制生長。

本設備的機械傳動系統采用進口交流伺服電機驅動,可在一定的范圍內進行無級調速,運動平穩可靠,提拉速度及旋轉速度穩定度高,長時間運行無爬行,無震動。

控制系統由速度控制、溫度控制、爐內壓力控制,晶體生長重量、冷卻水壓力及溫度監測等部分組成,其中硬件包括工業計算機(含液晶觸摸屏)、驅動器、AD采集卡及變換電路、線性功率電源等。

二、技術指標

 1.電源:                          三相四線制 50Hz 380 ±10%

  2. 直流電阻加熱                    72KW12V、6000A

 3.最高加熱溫度                    2100℃ 控溫分辨率0.1

 4.冷爐極限真空度:                6.67×10-3Pa

 5.充氣壓力:                      0.08 MPa

 6.最大裝料量:                    35Kg   

 7.主爐室內徑:                      ¢720mm

 8.主爐室高度:                     950mm

 9.籽晶桿慢速                       0.102.50mm/h

10.籽晶桿快速                      120mm/min(手動+電動)

11.籽晶桿轉速                      18rpm

12.籽晶桿行程                      350mm

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